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日本HD產(chǎn)線傳送諧波CSF-25-160-2A-GR

數(shù)量(臺) 價格
34 45433.00元/臺
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詳細參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號CSF-25-160-2A-G
類型諧波減速器載荷狀態(tài)強沖擊載荷
傳動比級數(shù)雙級軸的相對位置臥式減速器
傳動布置形式擺線式加工定制
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度軟齒面
布局形式三環(huán)式用途變速機
輸入轉(zhuǎn)速960rpm額定功率360kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍50rpm許用扭矩691N.m
使用范圍化工減速比46
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

現(xiàn)在生產(chǎn)線上顯影液涂覆方法主要有兩種:日本HD產(chǎn)線傳送諧波CSF-25-160-2A-GR連續(xù)噴霧顯影和旋轉(zhuǎn)浸沒顯影。光刻膠顯影過程需要控制的主要工藝技術(shù)參數(shù)包括:顯影溫度、顯影時間、顯影液量、當(dāng)量濃度、清洗、排風(fēng)。

       顯影后的熱烘培稱為堅日本HD產(chǎn)線傳送諧波CSF-25-160-2A-GR膜烘培,目的是蒸發(fā)掉硅片光刻膠中剩余溶劑,從而使光刻膠變硬,提高光刻膠與硅片的粘附性。堅膜過程也可以蒸發(fā)掉殘余在硅片上的顯影液和清洗用水。堅日本HD產(chǎn)線傳送諧波CSF-25-160-2A-GR膜過程通常在硅片軌道系統(tǒng)的熱板上,或在生產(chǎn)線上的專用爐中完成。堅膜溫度大致為:正膠130℃,負膠150℃。

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