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harmonic旋轉(zhuǎn)CMP諧波LA-30B-10-F-L

數(shù)量(臺(tái)) 價(jià)格
283 23456.00元/臺(tái)
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上海浜田實(shí)業(yè)有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號(hào)LA-30B-10-F-L
類型諧波減速器載荷狀態(tài)強(qiáng)沖擊載荷
傳動(dòng)比級(jí)數(shù)單級(jí)軸的相對(duì)位置立式加速器
傳動(dòng)布置形式擺線式加工定制
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度軟齒面
布局形式三環(huán)式用途變速機(jī)
輸入轉(zhuǎn)速1450rpm額定功率360kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍50rpm許用扭矩1782N.m
使用范圍工業(yè)減速比74
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

(1) 水清洗設(shè)備。水清洗設(shè)備有溢流清洗器harmonic旋轉(zhuǎn)CMP諧波LA-30B-10-F-L 、排空清洗器、噴射清洗器和加熱去離子水清洗機(jī)。

(2) 硅片甩干。硅片清洗結(jié)束后需要甩干,通常使用旋轉(zhuǎn)式甩干和異丙醇蒸汽干燥法兩種方法。

     CMP通常稱為化學(xué)機(jī)械拋光(chemical mechanical planarization,CMP或拋光harmonic旋轉(zhuǎn)CMP諧波LA-30B-10-F-L?;瘜W(xué)機(jī)械平坦化是實(shí)現(xiàn)多層金屬技術(shù)的主要平坦化技術(shù),它通過(guò)硅片和一個(gè)拋光頭之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)來(lái)平坦化硅片表面,在硅片表面和拋光頭之間有磨料,并且施加一定壓力。CMP設(shè)備工作原理如圖2.23所示,圖2.23a)為平坦化加工原理圖,harmonic旋轉(zhuǎn)CMP諧波LA-30B-10-F-L為帶有多個(gè)磨頭的CMP設(shè)備示意圖。在拋光時(shí)一個(gè)磨頭上裝有一個(gè)硅片,在傳送和拋光過(guò)程中,磨頭依靠真空來(lái)吸附硅片。拋光時(shí)磨料由磨料噴嘴噴涂到拋光墊上,磨頭和轉(zhuǎn)盤的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)了硅片的拋光。磨料與硅片的化學(xué)反應(yīng)促進(jìn)了拋光效果。

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