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GWS-晶圓外延缺陷檢測(cè)系統(tǒng)

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  • 發(fā)貨地址： 浙江 杭州市
  • 發(fā)布日期：2022-11-10
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第4年

杭州光研科技有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌其他型號(hào)GWS
類型其他材料其他
加工定制是

產(chǎn)品詳情

從操作員的目視檢查到檢測(cè)設(shè)備的自動(dòng)化

 

1） 超越目視檢查水平的檢測(cè)性能

2） 缺陷位置的可視化以及缺陷圖像可存儲(chǔ)化

3） 可對(duì)應(yīng)OHT 和 MES 

表面檢測(cè)

背面檢測(cè)

檢測(cè)對(duì)象缺陷

結(jié)晶缺陷

光斑、劃痕、Edge亮點(diǎn)


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