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真空晶圓傳輸模塊 Wafer Vacuum Transfer Module (VTM300)

數(shù)量(臺) 價格
1 1200000.00元/臺
  • 最小起訂: 1臺
  • 發(fā)貨地址: 江蘇 蘇州市
  • 發(fā)布日期:2024-09-04
  • 訪問量:74
咨詢電話:173-6179-7118
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泓滸(蘇州)半導體科技有限公司

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  • 營業(yè)執(zhí)照:已審核 營業(yè)執(zhí)照
  • 經(jīng)營模式: 生產(chǎn)加工-私營有限責任公司
  • 所在地區(qū):江蘇 蘇州市
  • 家家通積分:1430分

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詳細參數(shù)
品牌HONGHU型號HHHonghuself-researched
類型晶圓傳輸模塊材料碳鋼
加工定制產(chǎn)品認證ISO9001ISO14001SEMIS2

產(chǎn)品詳情

Wafer Vacuum Transfer Module (VTM)

The Vacuum Transfer Module (VTM) is used in vacuum processes such as wafer etching, deb (CVD, PVD, ALD), etc. Due to the bent requirements of the process environment, the transfer equipment VTM needs to meet ultra-high vacuum, ultra-low vibration, corrosion resistance, high-temperature resistance, and other requirements.

Item

HH400

HH500

HH600

HH700

HH800

Frame

Welded tubular construction with support,The surface is coated with white paint

Wafer Transport Plane

1100mm(Per SEMI std.E 21-91)

Process Facets

Up to 3

Up to 3

Up to 4

Up to 5

Up to 6

Vacuum Robot

HHVRD3/4

HHVRD3/4

HHVRD3/4

HHVRD3/4

HHVRD3/4

Arm Blade

Customized according to customer specifications,;Optional:1 Blade,2 Blade and 4 Blade;Material optional

Load Locks 

Provides Load Locks(1 or 2) and Slot(1 or 2 or 4 etc) Number customization

Lid

View Ports Optional

Lid Lift Mechanism

Lid Lift Mechanism

Lid Lift Mechanism

Lid Lift Mechanism

Option:Cooling Station,VPA Station or Separating Station 

Optional Chamber

AWC

< 0.05mm

< 0.05mm

< 0.05mm

< 0.05mm

< 0.05mm

Base Vacuum

10?8 Torr

10?8 Torr

10?8 Torr

10?8 Torr

10?8 Torr

Leak Rate

<1 x10?9std.cc/sec  He

<1 x10?9std.cc/sec  He

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<1 x10?10std.cc/sec  He




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