產(chǎn)品詳情
場發(fā)射掃描電子顯微鏡
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獲取方式 |
進口。日立S-4800 FESEM、E-1010型離子濺射儀，HORIBA EX-250型能譜儀 |
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主要用途 |
主要用于材料、生物體、高分子、無機非金屬、金屬材料等表面形貌觀察與分析，以及微區(qū)元素分析。廣泛應用于生物、能源、材料、化工、環(huán)境等研究。 |
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主要功能及技術(shù)指標 |
主要功能：
1.?二次電子形貌（SEI）：對試樣進行表面形貌觀察分析； 主要技術(shù)指標：HORIBA EX-250型能譜儀。分析元素范圍：Be4～U92號元素。 （1）分辨率：1.0nm (15kV)；1.0nm (1kV) （2）加速電壓：0.5 ~ 30kV，0.1kV/步 （3）放大倍率：×20 ~ ×800,000 （4）束流強度：1pA～2nA （5）樣品室和樣品臺：樣品臺驅(qū)動：3軸馬達驅(qū)動；移動范圍：X：0~50mm；Y：0~50mm；Z：1.5~30mm；T：-5~+70°；R：360°；樣品尺寸：100mm （6） |
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其它備注 |
1.?主機(包括電子光學系統(tǒng)；完全氣閥自動調(diào)節(jié)真空系統(tǒng)，配備三臺離子泵、一臺渦輪分子泵、一臺機械泵；高位/低位二次電子檢測器；3軸馬達驅(qū)動I型樣品臺。 2.?自動變壓器。 3.?冷卻循環(huán)水系統(tǒng)。 4.?HORIBA EX-250型能譜儀。 5.?日立?E-1010型離子濺射儀。 |
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