產(chǎn)品詳情
應用于300mm硅片Notch、Edge形貌檢測，厚度尺寸以及直徑測量。
【邊緣輪廓檢測】：
1.Notch形貌---
檢測項目:Vw Vr Vh θ v (AngV) P1 P2 R1 R2；
檢測區(qū)域:Notch部；
產(chǎn)能:55秒/枚，形貌測量項目為Notch形貌或Edge形貌的1點180度）測量.【25枚(1Cassette)測量時、從第1枚晶圓裝載開始第25枚晶圓回收完畢為止總計】*不含F(xiàn)OUP Cassette 的開關(guān)時間。
2.Edge形貌---
檢測項目:X1 X2 Y1 Y2 X3 θ 1 (Ang1) θ 2 (Ang2) R1 R2 ｔ；
檢測區(qū)域:9點（3 度，45 度，90 度，135 度，180 度，225 度，270 度，315 度，357 度）；
產(chǎn)能:55秒/枚，形貌測量項目為Notch形貌或Edge形貌的1點180度）測量.【25枚(1Cassette)測量時、從第1枚晶圓裝載開始第25枚晶圓回收完畢為止總計】*不含F(xiàn)OUP Cassette 的開關(guān)時間。
【缺陷種類】：Notch、Edge形狀缺陷。
【生產(chǎn)能力】：根據(jù)缺陷種類不同每片檢測最快只需 55S。
【菜單功能】：可編輯檢測菜單，并進行參數(shù)保存與導出。
【檢測范圍】：Notch、Edge
【檢測對象】：8~12寸 硅片
