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潔凈室層流和亂流優(yōu)缺點對比上海無塵室凈化工程
1垂直層流:房間的天花板完全被ULPA過濾器覆蓋??諝鈴纳系较麓担梢垣@得更高的清潔度。在加工過程中或工作人員產生的灰塵可以快速排出室外而不影響其他工作。區(qū)。
優(yōu)點:易于操作,可在短時間內完成工作,不易受工作條件或人員的影響。
缺陷:結構成本高,使用空間靈活,天花板吊架占用空間大,修理和更換過濾器更麻煩?;旌闲蛷秃喜牧辖Y合了湍流和層流,提供部分超潔凈空氣。
(1)清潔隧道:采用HEPA或ULPA過濾器處理區(qū)域或工作區(qū)域100英尺以上,將清潔度rhompjg提高到10級或以上,可節(jié)省設備運行成本。這種類型要求操作員的工作區(qū)域不能修理貨物和機器,以防止在維修機器期間影響工作和質量。這種類型主要用于ULSI過程。
清潔隧道有兩個優(yōu)點:A。靈活性易于擴展; B.修理設備時,可以在維修區(qū)域輕松完成。
2水平層流:水平空氣從一個方向從過濾器吹出,返回的空氣返回到側壁的空氣回流系統(tǒng)?;覊m隨著風向排出到外面,**側的污染通常很嚴重。
優(yōu)點:結構簡單,下班后可在短時間內穩(wěn)定。
缺陷:施工成本高于湍流,室內空間不易擴展。
二,湍流:空氣從空調箱通過空氣管道和潔凈室內的空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室,并從兩側的隔墻板或高架地板返回空氣潔凈室的兩側。氣流非線性地移動并且處于不規(guī)則的湍流或渦流狀態(tài)。此類型適用于1,000-100,000的潔凈室等級。
據說氣流不是以不均勻的速度平行移動,伴隨著再循環(huán)或渦流的潔凈室。
優(yōu)點:結構簡單,系統(tǒng)收縮,潔凈室擴建相對簡單。在某些特殊場合,無塵工作臺可以一起使用,以提高潔凈室水平。
缺陷:由湍流引起的塵埃顆粒難以在室內空間排出,容易污染加工品。如果系統(tǒng)停止工作然后激活它,通常需要很長時間才能達到所需的清潔度。