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伯東離子蝕刻機 20IBE-J

數(shù)量(臺) 價格
1111 111.00元/臺
  • 最小起訂: 1臺
  • 發(fā)貨地址: 上海 浦東新區(qū)
  • 發(fā)布日期:2020-11-18
  • 訪問量:464
咨詢電話:152-0195-1076
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伯東企業(yè)(上海)有限公司

實名認證 企業(yè)認證
  • 聯(lián)系人:羅
  • 手機:15201951076
  • 電話:21-5046-1322
  • 營業(yè)執(zhí)照:已審核 營業(yè)執(zhí)照
  • 經(jīng)營模式: 代理商-外商獨資
  • 所在地區(qū):上海 浦東新區(qū)
  • 家家通積分:2705分
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詳細參數(shù)
品牌Hakuto型號其他
產(chǎn)品用途刻蝕,清洗

產(chǎn)品詳情

上海伯東日本原裝進口適合大規(guī)模量產(chǎn)使用的 NS 離子蝕刻機 20IBE-J


伯東 NS 離子蝕刻機主要優(yōu)點:
1. 干式制程的微細加工裝置, 使得在薄膜磁頭, 半導(dǎo)體元件, MR sensor 等領(lǐng)域的開發(fā)研究及量產(chǎn)得以廣泛應(yīng)用.
2. 物理蝕刻的特性, 無論使用什么材料都可以用來加工, 所以各種領(lǐng)域都可以被廣泛應(yīng)用.
3. 配置使用美國考夫曼離子源
4. 射頻角度可以任意調(diào)整, 蝕刻可以根據(jù)需要做垂直, 斜面等等加工形狀.
5. 基板直接加裝在直接冷卻裝置上, 所以可以在低溫環(huán)境下蝕刻.
6. 配置公轉(zhuǎn)自轉(zhuǎn)傳輸機構(gòu), 使得被蝕刻物可以得到比較均勻平滑的表面.
7. 機臺設(shè)計使用自動化的操作流程, 所以可以有非常友好的使用生產(chǎn)過程.


伯東離子蝕刻機 20IBE-J技術(shù)參數(shù)

離子蝕刻Φ4 inch X 12片

基片尺寸

Φ4 inch X 12片
Φ5 inch X 10片
Φ6 inch X 8片

樣品臺

直接冷卻,水冷

離子源

Φ20cm 考夫曼離子源


伯東離子蝕刻機 IBE 通氬氣 Ar 不同材料的蝕刻速率:
NS離子蝕刻機

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