產(chǎn)品詳情
EDWARDS的nXDS干式渦旋泵具備出色的抽氣能力、極限真空性能和先進(jìn)的設(shè)計(jì)特性,性能居同類產(chǎn)品之首。nXDS泵在其他渦旋泵的基礎(chǔ)上進(jìn)行優(yōu)化,提高了抽速,獲得了更高極限真空、更低功耗和噪聲。借助氣鎮(zhèn)功能可以對(duì)可冷凝蒸氣(包括水、溶劑、稀酸和堿)進(jìn)行抽真空。nXDS泵還采用了優(yōu)化的端面密封技術(shù),顯著延長(zhǎng)了端面密封條更換的時(shí)間間隔。
特色與優(yōu)勢(shì):
溫控風(fēng)扇
可以在低負(fù)載條件下降低風(fēng)扇轉(zhuǎn)速,從而使噪聲降至僅52 dB(A)。
軸承罩
可確保將制程氣體與軸承潤(rùn)滑劑相分離,以確保清潔的真空環(huán)境,
并避免制程氣體中的污染物進(jìn)入潤(rùn)滑劑中,從而延長(zhǎng)軸承的使用壽命。
變頻器驅(qū)動(dòng)
全球范圍內(nèi)泵性能完全相同、易于控制、功耗降低和自動(dòng)電壓調(diào)整特性,從而有助于打造卓越的用戶體驗(yàn)。
優(yōu)化渦盤設(shè)計(jì)轉(zhuǎn)速提高, 極限真空比上一代提高一個(gè)數(shù)量級(jí),極限壓力低至7 x 10-3 mbar。
優(yōu)化端面密封技術(shù)
使用壽命發(fā)生顯著變化,就大多數(shù)應(yīng)用而言,典型的端面密封條使用壽命達(dá)到2年以上。
高流量氣鎮(zhèn)特性
高達(dá)220 gh-1的速度抽取蒸氣(包括水蒸氣)。