產(chǎn)品詳情
用途
各種設(shè)備的主真空排氣系統(tǒng)半導(dǎo)體制造設(shè)備蒸發(fā)設(shè)備濺射設(shè)備分析設(shè)備實驗設(shè)備等研究開發(fā)設(shè)備
不會生成副反應(yīng)物的輕工藝的主排氣系統(tǒng)
替換設(shè)備上的有擴散泵
其他一般高真空排氣用途
主營產(chǎn)品:分子泵、真空泵、磁懸浮分子泵、EDWARDS磁懸浮分子
¥8888.00
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詳細參數(shù) | |||
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品牌 | ULVAC | 型號 | UTM3400A |
輸送介質(zhì) | 水泵 | 驅(qū)動方式 | 電動泵 |
介質(zhì)溫度類型 | 高溫泵 | 材質(zhì) | 不銹鋼 |
最大出口壓力類型 | 高壓泵(32MPa≤Pd<100MPa) | 葉片式泵葉輪級數(shù) | 單級泵 |
葉片式泵吸入方式 | 單吸泵 | 葉片式泵葉輪形式 | 半開式葉輪 |
葉片式泵殼體型式 | 節(jié)段式 | 葉片式泵泵軸位置 | 立式泵 |
結(jié)構(gòu)類型 | 軸流式 | 顏色 | 其他 |
產(chǎn)地 | 日本 |
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