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程控擴散爐 青島福潤德

數(shù)量(臺) 價格
1 1.00元/臺
  • 最小起訂： 1臺
  • 發(fā)貨地址： 山東 青島市
  • 發(fā)布日期：2024-09-21
  • 訪問量：55
咨詢電話：136-6889-4181
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第1年

青島福潤德微電子設備有限公司

實名認證 企業(yè)認證
  • 聯(lián)系人：徐魯陽
  • 手機：13668894181
  • 電話：-
  • 營業(yè)執(zhí)照：已審核 營業(yè)執(zhí)照
  • 經(jīng)營模式： -
  • 所在地區(qū)：山東 青島市
  • 家家通積分：570分

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詳細參數(shù)
品牌其他型號擴散爐
類型其他加工定制是
規(guī)格尺寸其他

產(chǎn)品詳情

擴散爐主要滿足半導體電力電子器件、大功率集成電路等行業(yè)，對所加工硅片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作。

擴散爐技術(shù)指標：
可處理硅片尺寸：2—12英寸
外型形式：臥式1—4管結(jié)構(gòu)
工作溫度：200℃—1300℃
恒溫區(qū)長度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃
單點溫度穩(wěn)定性、重復性： ≤±1℃/24h
溫度斜變： 可控升溫速率15℃／min
可控降溫速率： 5℃／min
送片裝置：全自動懸臂推拉舟、拉桿式推拉舟
氣路系統(tǒng)：1—5路工藝氣體／管
氣體控制：全自動MFC
控制方式：工控機、觸摸屏

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