產(chǎn)品詳情
潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù),一直是潔凈室設(shè)計(jì)中受到關(guān)注的問(wèn)題,隨著潔凈室污染源的控制效果增加及末級(jí)過(guò)濾器效率的提高等,對(duì)有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等提出的推薦或參考值是否偏于保守,已有不少討論;FFU在應(yīng)用中人們擔(dān)心的噪音、損壞維修等問(wèn)題已在實(shí)踐中得到解決,隨著FFU的不斷改進(jìn),對(duì)是否采用FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是個(gè)熱點(diǎn):懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業(yè)中已日益提到日程上來(lái),受到關(guān)注。以下對(duì)這些問(wèn)題的情況分別作歸納和分析。
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控制閥選型的原則根據(jù)工藝條件,選擇合適的結(jié)構(gòu)形式和材料。根據(jù)工藝對(duì)象的特點(diǎn),選擇控制閥的流量特性。根據(jù)工藝操作參數(shù),選擇合適的控制閥口徑尺寸。根據(jù)工藝過(guò)程的要求,選擇所需要的輔助裝置。合理選擇執(zhí)行機(jī)構(gòu)。執(zhí)行機(jī)構(gòu)的響應(yīng)速度應(yīng)能滿足工藝對(duì)控制行程時(shí)間的要求:所選用的控制閥執(zhí)行機(jī)構(gòu)應(yīng)能滿面足閥門行程和工藝對(duì)泄露量等級(jí)的要求。在某些場(chǎng)合,如選用壓力控制閥(包括放空閥),應(yīng)考慮實(shí)際可能的壓差進(jìn)行適當(dāng)?shù)姆糯?,即要求?zhí)行機(jī)構(gòu)能提供較大的作用力。
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