產(chǎn)品詳情
深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司專業(yè)維修銷售真空泵,分子泵,半導(dǎo)體激光器,流量計(jì),真空計(jì),AMAT半導(dǎo)體配件
等外延設(shè)備翻新維修
優(yōu)勢
? 基于PTS(Pressure,Temperature,Space)的壓力傳感技術(shù)
? 基于AI的壓力控制技術(shù)
? 全金屬耐腐蝕技術(shù)
? 高準(zhǔn)確度及高可靠性
技術(shù)參數(shù)
型號 |
PC100 |
壓力類型 |
絕壓 |
控制壓力的滿量程 |
1000Torr、1200mbar |
耐壓 |
3MPa |
閥口滿量程流量 |
2、3、5SLM |
控制方式 |
上游 |
溫度系數(shù) |
Zero:±0.02% of F.S./℃;Span:±0.04% of Reading/℃ |
壓力分辨率 |
0.1 Torr |
壓力控制精度 |
±1.0% of Reading(≥10%FS); ±0.2% of F.S. (<10%FS) |
響應(yīng)時(shí)間 |
< 1.0 S |
工作溫度范圍 |
10 ℃ ~ 50 ℃ |
機(jī)械接口 |
雙卡套 1/4" 、 VCR 1/4" 陽接頭 |
閥類型 |
常閉 |
外漏 |
< 1 x 10-10(scc/sec He) |
內(nèi)漏 |
< 1.0% of 閥口滿量程流量 (閥關(guān)閉時(shí),進(jìn)氣端為25 psig,出氣端為大氣) |
供電電源 |
+15 ~ +24 VDC(< 4 watts) |
電氣接口 |
DB-9針 |
原裝進(jìn)口正品,拍前請聯(lián)系店主,13480966143
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AMAT 0010-12582-002 PVD Magnet, Serial # 14321
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