產(chǎn)品詳情
HORIBA質(zhì)量流量控制器SEC-E40質(zhì)量流量計(jì)
深圳天鉉真空技術(shù)有限公司
所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測(cè)通常可分為體積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí)，必須對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量。在必須對(duì)流量進(jìn)行精確計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽(yáng)能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
規(guī)格
技術(shù)規(guī)格
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型號(hào) |
SEC- (質(zhì)量流量控制器) |
E40/E40MK3 |
E50/E50MK3 |
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SEF- (質(zhì)量流量計(jì)) |
E40 |
E50 |
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適用氣體種類*1 |
非腐蝕性氣體(MK3型號(hào)適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He) |
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氣體接觸部材質(zhì) |
SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼 |
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閥門型號(hào) |
非通電時(shí) 關(guān)閉 |
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標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.) |
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM |
20/30 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100% F.S. |
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流量測(cè)量范圍 |
0?100% F.S. |
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響應(yīng)速度 |
1秒以內(nèi)(T98) |
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流量精度 |
±1% F.S. |
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直線性 |
±0.5% F.S. |
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反復(fù)性 |
±0.2% F.S. |
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工作差壓值值 |
10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d) |
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使用壓力 |
300kPa(G)以下 |
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耐 壓 |
1MPa(G)以下 |
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外部泄漏率 |
1×10-8Pa?m3/s(He)以下 |
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使用環(huán)境溫度 |
5?50℃(精度的確保：15?35℃) |
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流量設(shè)定信號(hào) |
0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S. |
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流量輸出信號(hào) |
0?5VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ) |
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驅(qū)動(dòng)電源 |
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA |
＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA |
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標(biāo)準(zhǔn)接頭*2 |
1/4SWL 類型 |
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