產(chǎn)品詳情
【產(chǎn)品描述】
KC和KTC型滑閥泵是機械式真空泵中可獲得最低壓力的泵,推薦應(yīng)用于工作壓力低于0.1Torr(0.13mbar)的工況。
由于滑閥與泵腔之間充滿了油而且沒有金屬與金屬間的接觸,該系列雙級泵特別的可靠和經(jīng)久耐用。除了KTC-112泵是水冷系統(tǒng)(風(fēng)冷系統(tǒng)供選擇),其它型號的KC和KTC泵都是風(fēng)冷系統(tǒng)。
標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品都配置可調(diào)式氣鎮(zhèn)閥,可以處理含水蒸氣或其他蒸氣的介質(zhì)。
KTC泵三聯(lián)滑閥設(shè)計確保泵自身動態(tài)平衡,事實也證明該泵在運行中沒有振動。
【典型應(yīng)用】
1. 制冷系統(tǒng)排氣
2. 液態(tài)氣體儲存
3. 制動液加液系統(tǒng)
4. 低壓化學(xué)蒸氣沉積(LPCVD)
5. 硅晶生長
6. 泄露檢測
【技術(shù)參數(shù)】
型號
MODEL |
抽速
CFM/m3/h |
電機功率
HP/kW |
KC-5 |
5/8.5 |
0.33/0.25 |
KC-8 |
8/13.6 |
0.5/0.37 |
KC-15 |
15/25.5 |
1/0.75 |
KTC-21 |
21/36 |
1.5/1.1 |
KTC-60 |
60/102 |
3/2.2 |
KTC-112 |
107/182 |
7.5/5.6 |