產(chǎn)品詳情
VPC系列／小型真空鍍膜裝置
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| 規(guī)格參數(shù) |
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型 號
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VPC-260F | |
| 真空性能 |
極限壓力
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1.3 × 10-3Pa 6.6 × 10-4Pa (使用液氮時) |
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排氣時間
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4.0 × 10-3Pa/20min 1.3 × 10-3Pa/20min (使用液氮時) |
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| 真空艙 |
鐘罩尺寸
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玻璃鐘罩 （直徑300mm × 300mm(H)) |
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饋通圈
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8個端口（8側(cè)面） | |
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標(biāo)準(zhǔn)基板・最大尺寸※1
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□50mm ・ □140mm（最大） | |
| 供電系統(tǒng) |
蒸發(fā)電極結(jié)構(gòu)
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1點式 |
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蒸發(fā)電源
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SEREM “PSE-150C”, 0 – 10V , 150A (最大) | |
| 排氣系統(tǒng) |
主泵
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油擴散泵（氣冷） 200 L/sec |
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液氮冷阱
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有 | |
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前級泵
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油旋片真空泵 100 L/min | |
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油霧過濾器
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可選 | |
| 操作系統(tǒng) |
主閥門
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瓣閥 |
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副閥門
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三向切換閥 | |
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自動滲漏閥
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可選 | |
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控制
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手動控制 | |
| 控制系統(tǒng) |
皮拉尼真空計
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可選 |
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電離真空計
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可選 | |
| 外形 |
尺寸（主體）
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530mm(W) × 550mm(D) × 1135mm(H) |
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尺寸（蒸發(fā)電源）
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480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H) | |
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重量（主體）
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75kg | |
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重量（蒸發(fā)電源）
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40kg | |
※1:不考慮基板最大尺寸時的膜厚分布值。
| 條 件 |
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型 號
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VPC-250F | |
| 電源需求 |
主體
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單相, 100V, 1.35kVA |
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蒸發(fā)電源
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單相, 200V, 1.5kVA | |
| 接地端子 | D級（接地抗阻/100Ω 或更低） | |
| 附件 |
主體 ： 單相, 100V
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乙烯絕緣軟電纜（帶插頭） 2m |
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蒸發(fā)電源 ： 單相, 200V
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乙烯絕緣軟電纜（R2.0-5帯端子） 2m | |
| 外形圖 |
 VPC-260F |
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蒸發(fā)電源 SEREM
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| 饋通圈 |
