主營產(chǎn)品：分子泵、真空泵、磁懸浮分子泵、EDWARDS磁懸浮分子
13728080527（總經(jīng)理）
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| 數(shù)量(臺) | 價格 |
| 1 | 1002元/臺 |
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| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | ULVAC | 規(guī)格型號 | UTM3400A |
| 編號 | UTM3400A | 計量單位 | 1臺 |
| 付款方式 | 面議 | 參考價格 | 1002 |
| 價格單位 | 人民幣 | 供貨量 | 不限 |
| 說明書，報價手冊及驅(qū)動 | 暫無相關(guān)下載 | 其他資料下載 | 暫無相關(guān)下載 |
| 產(chǎn)地 | 日本 | 發(fā)貨地 | 廣東廣州市 |
ULVAC UTM3400A渦輪分子泵
采用磁浮軸承控制器一體型渦輪分子泵。通過泵的本體和控制器一體化，實現(xiàn)了省配線，省空間。
特點
泵體和控制器一體化泵體和控制器之間不需要復(fù)雜的布線工作。
安裝方向自由安裝方向沒有限制，擴(kuò)展了設(shè)備設(shè)計的自由度。
產(chǎn)品陣容涵蓋排氣速度1000 L / s至4000 L / s。
廣域大流量設(shè)計，適用于輕工藝泵速可以在25％至100％的范圍內(nèi)變化，腔室的壓力可以調(diào)節(jié)。
高耐久性和安全性已經(jīng)通過各種安全確認(rèn)測試，例如空氣沖擊測試和觸地測試。
用途
各種設(shè)備的主真空排氣系統(tǒng)半導(dǎo)體制造設(shè)備蒸發(fā)設(shè)備濺射設(shè)備分析設(shè)備實驗設(shè)備等研究開發(fā)設(shè)備
不會生成副反應(yīng)物的輕工藝的主排氣系統(tǒng)
替換設(shè)備上的有擴(kuò)散泵
其他一般高真空排氣用途
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