產品詳情
與擴展型一樣具有雙倍的清洗速率,高功率擴展型等離子清洗機是一款多功能的工具,適用于刻蝕有機薄膜(10--100nm)以及表面活化改性。
Harrick PDC-HP高功率擴展型等離子清洗機
PDC-001-HP (115V); PDC-002-HP (230V)
主要特點:
緊湊臺式設備、沒有RF放射、符合CE安全標準。
功率為低、中、高三檔可調。
低檔功率相當于PDC-2 擴展型等離子清洗機的高檔功率設置
清洗腔:長6.5英寸,直徑6英寸的耐熱玻璃腔體 , 腔蓋可拆卸
帶有視窗的鉸鏈門
自動風扇冷卻
集成真空泵開關
1/8NPT針孔閥控制氣流及腔體壓力;
整機尺寸:11英寸H × 18英寸W × 9英寸D;
重量:37 lbs;
選配件
石英等離子清洗腔;
氣體流量混合器;
真空泵;
擴展型等離子清洗機
http://www.first-nano.com/SonList-1417836.html
http://www.chem17.com/st326752/erlist_1417836.html