性能
泵的排氣壓力與進(jìn)氣壓力之比稱為
壓縮比。壓縮比除與泵的級數(shù)和轉(zhuǎn)速有關(guān)外,還與氣體種類有關(guān)。分子量大的氣體有高的壓縮比。對氮(或空氣)的壓縮比為10
8~10
9;對氫為10
2~10
4;對分子量大的氣體如油蒸氣則大于10
10。
泵的極限壓力為10
-9Pa,工作壓力范圍為10
-1~10
-8Pa,
抽氣速率為幾十到幾千升每秒(1L=10
-3m
3)。
渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)(氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)大于導(dǎo)管截面尺寸的流態(tài))下工作才能顯示出它的優(yōu)越性,因此要求配有工作壓力為1~10-2Pa的前級真空泵。
分子泵本身由轉(zhuǎn)速為10000~60000轉(zhuǎn)/分的
中頻電動機直聯(lián)驅(qū)動。
特點
抽速大、無油、啟動快、無油污染、維護簡單
工作范圍:清潔的低真空~中、高真空,大氣~超高真空
極限真空:10-6/ 10-10torr
缺點:結(jié)構(gòu)復(fù)雜、對軸承耐磨程度要求高、制造成本高
特別聲明:以上內(nèi)容(如有圖片或視頻亦包括在內(nèi))為自媒體平臺“機電號”用戶上傳并發(fā)布,本平臺僅提供信息存儲服務(wù)
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of JDZJ Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.