XDS 泵的設(shè)計(jì)極*創(chuàng)新性，采用軸承屏蔽將真空環(huán)境與所有形式的潤(rùn)滑劑隔離開(kāi)來(lái)，使之不僅完全干燥，而且完全密封。該屏蔽還能保護(hù)軸承免受任何制程蒸汽的影響。
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