電子廠無塵室管理規(guī)定規(guī)范大全
目錄
0. 目錄 (Table of content)
1. 大綱(Introduction)
1.1 范圍(Scope)
1.2 目的(Purpose)
2. 引用文件(Reference document)
3. 名詞定義(Definition)
4. 無塵室管理規(guī)范程序
4.1 無塵室潔凈度等級(jí)區(qū)分及區(qū)域定義
4.1.1 面板前段工廠
4.1.2 面板后段工廠
4.1.3 模塊工廠
4.2 無塵衣/鞋/帽穿著使用規(guī)定
4.2.1 無塵衣等級(jí)區(qū)分
4.2.2 無塵鞋等級(jí)區(qū)分
4.2.3 無塵帽等級(jí)區(qū)分
4.2.4 各區(qū)無塵衣穿著規(guī)定
4.2.5 無塵衣?lián)Q洗規(guī)定
4.2.6 無塵衣之破損與縫補(bǔ)
4.3 無塵室進(jìn)入資格之取得
4.3.1 一般員工
4.3.2 高階主管
4.3.3 來賓(廠商)
4.3.4 無塵室進(jìn)入資格取得之流程
4.4 無塵室進(jìn)入資格之取消
4.5 無塵室資格考試
4.6 無塵室進(jìn)出管制規(guī)定
4.6.1 人員之限制
4.6.2 物品之限制
4.7 進(jìn)入無塵室之程序
4.7.1 人員進(jìn)入無塵室之流程
4.7.2 物品進(jìn)入無塵室之流程
4.7.3 儀器設(shè)備進(jìn)入無塵室之流程
4.8 無塵衣穿著程序
4.8.1 連身式無塵衣穿著程序
4.8.2 披肩式無塵衣穿著程序
4.8.3 大衣式靜電袍穿著程序
4.9 無塵衣穿著步驟
4.9.1 連身式無塵衣穿著步驟
4.9.2 披肩式無塵衣穿著步驟
4.9.3 大衣式靜電袍穿著步驟
4.10 無塵衣穿著注意事項(xiàng)
4.11 無塵衣穿著檢查要項(xiàng)
4.12 無塵室一般禁止及注意事項(xiàng)
4.13 黃光室特別注意事項(xiàng)
4.14 來賓(廠商)進(jìn)入無塵室注意事項(xiàng)
4.15 無塵室安全注意事項(xiàng)
4.16 無塵室環(huán)境條件控制
5. 使用表單(bbbb used)
6. 變更記錄(Change Record)
1. 大綱(Introduction)
1.1范圍(Scope)
凡進(jìn)入無塵室內(nèi)所有人、機(jī)器設(shè)備、物品、原物料、產(chǎn)品……等，均屬本規(guī)范之管制范圍。
1.2目的(Purpose)
為維持無塵室內(nèi)潔凈度，管制污染源控制環(huán)境參數(shù)，特對(duì)于無塵室內(nèi)之人、機(jī)器設(shè)備、物品、原物料等加以管制，以便能確保無塵室內(nèi)潔凈度符合產(chǎn)品制程之需求，提高產(chǎn)品品質(zhì)。
2. 參考文件(Referenced Document)
美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209D(U.S. FEDERAL STANDARD 209D)
MS-5103 無塵無菌室運(yùn)轉(zhuǎn)管理指針(GUIDANCE FOR OPERATION OF CLEAN ROOM)
3. 名詞定義(Definition)
本規(guī)范除下列所述名詞外，均依照J(rèn)IS Z 8122(Contamination Control術(shù)語)。
無塵室 Particle被控制在規(guī)定值內(nèi)之房間
粒子(Particle) 一般而言指0.001至1000μm之粒徑的固體或液體之物質(zhì)
4.無塵室管理規(guī)范程序
4.1無塵室潔凈度等級(jí)區(qū)分及區(qū)域定義
4.1.1 面板前段工廠
A區(qū)(Class 100級(jí))：包含黃光室及組合室。
B區(qū)(Class 1000級(jí))：除A、C區(qū)以外之其它面板前段生產(chǎn)區(qū)。
C區(qū)(Class 10000級(jí))：包含投片室。
4.1.2面板后段工廠
D區(qū)(Class 1000級(jí))：面板后段無塵室(液晶注入室)。
E區(qū)(Class 1000級(jí))：面板后段貼片區(qū)(Clean Booth內(nèi))。
F區(qū)(Class 10000級(jí))：面板后段一般區(qū)。
4.1.3 模組工廠
G區(qū)(Class 1000級(jí))：模組無塵室(COG室)。
H區(qū)(Class 1000級(jí))：模組組裝區(qū)(Clean Booth內(nèi))。
I區(qū)(Class 10000級(jí))：模組一般區(qū)。
4.2無塵衣/鞋/帽穿著使用規(guī)定
4.2.1 無塵衣等級(jí)區(qū)分
連身式無塵衣：Class 100級(jí)、白色、蘋果綠色、藍(lán)色、綠色、淡黃色(藍(lán)色為工程員使用、綠色為施工及未認(rèn)證人員使用、淡黃色為來賓使用) 。
披肩式無塵衣：Class 1000級(jí)、白色、藍(lán)色、淡黃色(藍(lán)色為工程員使用、淡黃色為來賓使用)。
大衣式靜電袍：Class 10000級(jí)、白色、藍(lán)色、淡黃色(藍(lán)色為工程員使用、淡黃色為來賓使用)。
4.2.2無塵鞋等級(jí)區(qū)分
長(zhǎng)統(tǒng)式無塵鞋：Class 100級(jí)、白色、蘋果綠色、藍(lán)色、綠色、黃色 (藍(lán)色為工程員使用、綠色為施工及未認(rèn)證人員使用、黃色為來賓使用)
開孔式靜電鞋：Class 10000級(jí)、白色(來賓使用不織布鞋套)。
4.2.3無塵帽等級(jí)區(qū)分
連身式無塵帽：Class 100級(jí)、白色、蘋果綠色、藍(lán)色、綠色、黃色(與無塵衣連在一起)。
披肩式無塵帽：Class 1000級(jí)、白色、藍(lán)色、黃色、粉紅、淺紅、深紅(藍(lán)色為工程員及技術(shù)員使用、黃色為來賓使用、粉紅為QC使用、淺紅為制造部物料員使用、深紅為制造部組長(zhǎng)使用)。
蝴蝶式無塵帽：Class 1000級(jí)、白色、藍(lán)色、黃色、粉紅、淺紅、深紅(藍(lán)色為工程員及技術(shù)員使用、黃色為來賓使用、粉紅為QC使用、淺紅為制造部物料員使用、深紅為制造部組長(zhǎng)使用)。
4.2.4各區(qū)無塵衣穿著規(guī)定
A、B區(qū)：1. 管理、生產(chǎn)等工作人員，在A區(qū)及B區(qū)內(nèi)工作時(shí)，均須穿著白
色或蘋果綠色連身式無塵衣、長(zhǎng)統(tǒng)式無塵鞋、戴網(wǎng)帽、口罩及手套。
2. 制程、設(shè)備及研發(fā)人員在A區(qū)及B區(qū)內(nèi)工作時(shí)，則穿著藍(lán)色連身式無
塵衣、披肩帽、長(zhǎng)統(tǒng)式無塵鞋、戴網(wǎng)帽、口罩及手套。
3. 品管在A區(qū)及B區(qū)內(nèi)工作時(shí)，均須穿著粉紅色連身式無塵衣、長(zhǎng)統(tǒng)式無塵鞋、戴網(wǎng)帽、口罩及手套。
4. 施工及未認(rèn)證人員，均須穿著綠色連身式無塵衣、長(zhǎng)統(tǒng)式無塵鞋、戴網(wǎng)帽、口罩及手套。
5. 來賓則穿著來賓專用黃色連身式無塵衣、披肩帽、長(zhǎng)統(tǒng)式無塵鞋套、
戴網(wǎng)帽、口罩及手套。
D、G區(qū)： 1. 管理、生產(chǎn)、品管等工作人員，均須穿著白色或藍(lán)色披肩式無塵衣、披肩帽、長(zhǎng)統(tǒng)式無塵鞋，戴網(wǎng)帽、口罩及手套(物料員使用淺紅4色披肩帽、制造部組長(zhǎng)使用深紅色披肩帽、技術(shù)員使用藍(lán)色披肩帽、品管使用粉紅色披肩帽)。
2. 制程、設(shè)備及研發(fā)人員，則穿著藍(lán)色披肩式無塵衣、披肩帽、長(zhǎng)統(tǒng)式無塵鞋、戴網(wǎng)帽、口罩及手套。
3. 來賓則穿著來賓專用黃色披肩式無塵衣、披肩帽、長(zhǎng)統(tǒng)式無塵鞋套、戴網(wǎng)
帽、口罩及手套。
C、F、H、I區(qū)：1. 管理、生產(chǎn)、品管等工作人員，均須穿著白色或藍(lán)色大衣式靜電袍、蝴蝶帽、開孔式無塵鞋(物料員使用淺紅色蝴蝶帽、制造部組長(zhǎng)使用深紅色蝴蝶帽、技術(shù)員使用藍(lán)色蝴蝶帽、品管使用粉紅色蝴蝶帽)。
2. 制程、設(shè)備及研發(fā)人員，則穿著藍(lán)色大衣式靜電衣、蝴蝶帽、開孔式無塵鞋。
3. 來賓則穿著來賓專用黃色大衣式靜電袍、蝴蝶帽、不織布鞋套。
4.2.5無塵衣?lián)Q洗規(guī)定
無塵衣等須二周定期清洗，由外包專業(yè)洗衣廠統(tǒng)一清洗，并送回廠內(nèi)，以維持無塵衣之清潔。
4.2.6無塵衣之破損與縫補(bǔ)
無塵衣若有破損、拉煉損壞、松緊帶松弛、魔術(shù)粘掉落….等情況發(fā)生時(shí)，該件即應(yīng)立即停止使
用，若可修補(bǔ)者應(yīng)將其置于待修補(bǔ)區(qū)，若已達(dá)無法修補(bǔ)者則應(yīng)將其報(bào)廢，領(lǐng)用新品使用。
4.3無塵室進(jìn)入資格之取得
4.3.1 一般員工：凡經(jīng)常于無塵室內(nèi)工作或不定期會(huì)進(jìn)入無塵室者，均應(yīng)先由制造部上過『無塵室管理規(guī)范』或其它相關(guān)課程，并通過考試合格后，才具無塵室進(jìn)出資格，考試合格人員由制造部造冊(cè)列管，然后才可向制造部領(lǐng)取無塵衣等相關(guān)物品。
4.3.2 高階主管：熟知并了解無塵室管理規(guī)范及其它各項(xiàng)相關(guān)規(guī)定后，即具無塵室進(jìn)出資格。
(高階主管定義：指董事長(zhǎng)、總經(jīng)理、副總經(jīng)理等)
4.3.3 來賓(廠商)：應(yīng)由接待部門具無塵室出入資格者，先行講解無塵室內(nèi)各項(xiàng)規(guī)定及注意事項(xiàng)后，
始可在相關(guān)人員全程陪同下進(jìn)入無塵室。
4.3.4無塵室進(jìn)入資格取得之流程：
取得資格 |
領(lǐng)無塵衣 |
考試 |
上課 |
4.4無塵室進(jìn)入資格之取消
若有下列情況發(fā)生時(shí)則取消其無塵室進(jìn)入資格：
4.4.1.人員離職時(shí)或留職停薪期間超過3個(gè)月者。
4.4.2.1個(gè)月內(nèi)累計(jì)違反無塵室管理規(guī)范或其它各項(xiàng)相關(guān)規(guī)定，被品管或稽核人員登記達(dá)2次(含)以上者。
4.4.3違反無塵室管理規(guī)范或其它各項(xiàng)相關(guān)規(guī)定情節(jié)重大者。
4.4.4無塵室管理規(guī)范或其它各項(xiàng)相關(guān)規(guī)定有大幅度之修改，而需取得重新認(rèn)證時(shí)。
4.5無塵室資格考試
考前準(zhǔn)備：考試前應(yīng)由制造部統(tǒng)一講授 -- 無塵室管理規(guī)范及其它各項(xiàng)相關(guān)規(guī)定。
測(cè)驗(yàn)卷：共有A、B、C、D共4份測(cè)驗(yàn)卷，每份均為15題選擇題及10題是非題，每題4分，
采不倒扣方式計(jì)分。
考試時(shí)間：10分鐘。
及格分?jǐn)?shù)：80分。
補(bǔ)考規(guī)定：第一次測(cè)驗(yàn)不合格者，得經(jīng)再上課后補(bǔ)考一次，若仍不合格者即無法取得無塵室工作
資格。
4.6無塵室進(jìn)出管制規(guī)定
4.6.1人員之限制
(1) 公司員工：因職務(wù)之需要必須進(jìn)入無塵室內(nèi)工作者，須先上過『無塵室管理規(guī)范』及其它
無塵室相關(guān)規(guī)定之課程，并通過考試及格后，才可進(jìn)入無塵室。
(2) 非公司員工：為維持無塵室潔凈度之要求及避免生產(chǎn)作業(yè)受到不必要之干擾，以確保產(chǎn)品
之品質(zhì)，除下列情況外，均謝絕進(jìn)入無塵室參觀：
¬督導(dǎo)單位長(zhǎng)官或評(píng)鑒/稽核人員視察。
重要客戶或供貨商了解現(xiàn)場(chǎng)作業(yè)情況。
®儀器/設(shè)備之維修工程師或外包施工廠商。
¯本公司聘雇之顧問或?qū)＜摇?o:p>
(3) 非公司員工進(jìn)入無塵室時(shí)，必須有接待或相關(guān)部門人員全程陪同。
(4) 來賓進(jìn)入無塵室之申請(qǐng)程序：來賓須進(jìn)入無塵室時(shí)，應(yīng)由接待或相關(guān)部門人員向制造部主管
提出申請(qǐng)，取得核準(zhǔn)后始可進(jìn)入無塵室。
(5) 進(jìn)入無塵室均須刷卡進(jìn)入。
注：有下列健康狀況或體質(zhì)者原則上不能進(jìn)入無塵室
a. 因日曬、濕疹、或燙傷而皮膚有問題者。
b. 對(duì)化學(xué)纖維有過敏性體質(zhì)者。
c. 對(duì)溶劑等化學(xué)藥劑有過敏性體質(zhì)者。
d. 容易流汗或出手汗者。
e. 容易流鼻涕或從鼻子常流出排出物者。
f. ?？人?、打噴嚏或患?xì)獯≌摺?o:p>
g. 經(jīng)常有搔抓習(xí)慣者。
h. 有精神病、神經(jīng)過敏或閉鎖性恐懼癥者。
4.6.2 物品之限制
(1) 非生產(chǎn)或工作所需之物品一律禁止攜入無塵室。
(2) 面板前段紙類物品(非無塵紙)禁止攜入無塵室，若必須攜入時(shí)則須塑封或加塑料護(hù)套。
(3) 下列物品一律禁止攜入無塵室：
¬鉛筆、橡皮擦、修正液(修正帶)等易發(fā)塵或揮發(fā)之文具（僅A、B、C、D、G區(qū)）。
普通紙類、紙箱、普通筆記簿、紙制活頁夾等（僅A、B、C區(qū)）。
®木制物品且表面無聚乙稀等物質(zhì)包覆者。
¯鐵制物品且未作防銹處理而有生銹之虞者。
°臟污或外表生銹之物品。
±保麗龍類物品（僅A、B、C、D、G區(qū)）。
²其它易污染環(huán)境或制造particle之物品。
(4) 物品攜入無塵室前，必須先擦拭干凈，才可帶入無塵室。
4.7進(jìn)入無塵室之程序
4.7.1人員進(jìn)入無塵室(CR)之流程：
取得進(jìn)入CR資格 刷卡進(jìn)入更衣室 換穿無塵衣/鞋 帶上手套 進(jìn)入CR前檢查 AIR SHOWER
4.7.2物品進(jìn)入無塵室之流程：
取得物品攜入許可 適當(dāng)擦拭或包裝 檢驗(yàn) 攜入CR
OK或不須驗(yàn)
NG
4.7.3儀器設(shè)備進(jìn)入無塵室之流程：
取得儀器設(shè)備進(jìn)入許可 適當(dāng)擦拭 檢驗(yàn) 搬入CR
OK或不須驗(yàn)
NG
4.8無塵衣穿著程序
4.8.1連身式無塵衣穿著程序：
刷卡進(jìn)入更衣室 戴口罩 脫去拖鞋 戴上網(wǎng)帽 檢查 Air Shower 穿著無塵衣 戴上手套 (脫衣程序則為反向) 穿無塵鞋
(脫衣程序則為反向)
4.8.2披肩式無塵衣穿著程序：
脫去拖鞋 |
刷卡進(jìn)入更衣室 |
戴網(wǎng)帽 |
戴披肩帽 |
穿無塵衣 |
戴口罩 檢查 Air Shower 戴上手套 穿無塵鞋
(脫衣程序則為反向)
4.8.3 大衣式靜電袍穿著程序：
.
換穿靜電鞋 |
換穿靜電袍 |
脫去拖鞋 |
刷卡進(jìn)入更衣室 |
戴上帽子 檢查 戴上指套或手套 Air Shower
(脫衣程序則為反向)
4.9無塵衣穿著步驟
4.9.1 連身式無塵衣穿著步驟
¬戴上網(wǎng)帽
先確認(rèn)衣服正面朝前并穿上雙袖
®套在頭上，露出臉部
¯穿上褲腳
°將胯下拉煉由一端拉至另一端(拉煉開口不可露出，必須被長(zhǎng)統(tǒng)無塵鞋蓋住)
±穿上無塵鞋
²將頭部魔鬼粘扣上
³戴上口罩并扣上頸部魔鬼粘
4.9.2 披肩式無塵衣穿著步驟
¬戴上網(wǎng)帽
戴上披肩帽
®穿上無塵衣(披肩帽緣須被無塵衣包住)并拉上拉煉及扣上領(lǐng)扣
¯穿上無塵鞋
4.9.3 大衣式靜電袍穿著步驟
¬穿上大衣式靜電袍
穿上靜電鞋
®戴上蝴蝶帽
4.10無塵衣穿著注意事項(xiàng)
(1) 換下之拖鞋請(qǐng)整齊置于指定處所。
(2) 清洗干凈且包裝好之無塵衣/鞋/帽等，請(qǐng)放置于個(gè)人衣柜內(nèi)。
(3) 使用中之無塵衣，應(yīng)整齊吊掛于Clean Booth(HEPA)之衣架上，以維持高潔凈度。
(4) 換穿無塵衣過程中，應(yīng)盡量避免無塵衣接觸地面。
(5) 戴網(wǎng)帽時(shí)應(yīng)盡量將頭發(fā)、耳朵都包覆在內(nèi)，勿使其外露。
(6) 無塵衣拉煉均應(yīng)拉到底；扣子應(yīng)扣好；魔術(shù)粘亦應(yīng)粘妥。
(7) 無塵衣穿著應(yīng)松緊適中，不可過松或太緊(可利用腰帶來調(diào)整松緊度)。
(8) 無塵衣若有破損時(shí)，不可繼續(xù)穿著，應(yīng)修補(bǔ)后才可使用(若不堪修補(bǔ)時(shí)應(yīng)報(bào)廢更換新品)。
(9) 穿無塵鞋時(shí)，應(yīng)穿著襪子以維持個(gè)人衛(wèi)生。
(10) 穿無塵鞋時(shí)應(yīng)全腳穿入，不可踩住鞋后跟。
(11) 穿上無塵衣后，便服褲腳不可外露應(yīng)包覆在無塵衣內(nèi)。
(12) 口罩應(yīng)遮住口、鼻不使其外露。
(13) 手套應(yīng)完全塞入無塵衣之袖口內(nèi)。
(14) 穿著無塵衣或戴口罩、手套時(shí)，不可邊走邊穿戴。
(15) 披肩帽應(yīng)壓在無塵衣內(nèi)，帽緣不可外露。
(16) 無塵室內(nèi)不可打瞌睡。
(17) 原則上網(wǎng)帽、口罩、手套之更換頻率如下：
網(wǎng)帽每周更換一次，若臟污或破損時(shí)則立即更換。
口罩每2天更換一次，若臟污或破損時(shí)則立即更換(一次性紙口罩每次進(jìn)出更換一次)。
手套每次進(jìn)出更換一次，若臟污或破損時(shí)則立即更換。
指套每次二小時(shí)更換一次，若進(jìn)出工廠或臟污、破損時(shí)則立即更換(因貼片站作業(yè)情況特殊，指套需半小時(shí)更換一次)。
4.11無塵衣穿著檢查要項(xiàng)
穿好無塵衣進(jìn)入Air Shower前，應(yīng)于鏡子前檢查下列各項(xiàng)：
(1) 頭發(fā)、網(wǎng)帽不可外露。
(2) 口、鼻不可外露。
(3) 褲腳不可外露(大衣式靜電袍除外)。
(4) 無塵衣、鞋不可破損或臟污。
(5) 無塵衣、鞋之拉煉、扣子、魔術(shù)粘等，應(yīng)拉好不可松脫。
(6) 手套端緣不可外露。
(7) 無塵衣、帽之識(shí)別名牌，應(yīng)貼合固定牢靠。(新人尚無識(shí)別名牌者不在此限)
(8) 披肩帽帽緣不可外露。
4.12無塵室一般禁止及注意事項(xiàng)
(1) 未取得無塵室進(jìn)入資格者，不得進(jìn)入無塵室。
(2) 嚴(yán)禁裸手接觸產(chǎn)品。
(3) 表單、Run Card、記錄簿等應(yīng)確實(shí)小心填寫，任何涂改必須于旁邊簽名及日期。
(4) 手套應(yīng)保持干燥清潔，并且不可在手套上涂寫。
(5) 嚴(yán)禁坐臥桌面、腳踏板、地板、垃圾桶、護(hù)欄，以及斜靠機(jī)臺(tái)或儲(chǔ)存柜。
(6) 若手易出汗或過敏者，可先戴細(xì)棉手套再帶PVC手套或乳膠手套。
(7) 應(yīng)隨時(shí)注意各項(xiàng)公告及標(biāo)語。
(8) 應(yīng)主動(dòng)相互支持，但不可單獨(dú)操作未認(rèn)證合格之機(jī)臺(tái)。
(9) 大家應(yīng)隨時(shí)取締、糾正不合規(guī)定之人員、物品、標(biāo)示等，并通知相關(guān)主管。
(10)應(yīng)隨時(shí)注意頭發(fā)、口、鼻不可外露。
(11)不可將無塵衣、帽等隨意置于地板上。
(12)只能在更衣室內(nèi)穿、脫無塵衣，不可在其它地方為之。
(13)Air Shower前后兩門不可同時(shí)開起。
(14)無塵室內(nèi)嚴(yán)禁奔跑、嬉戲、喧嘩、睡覺等。
(15)無塵室內(nèi)嚴(yán)禁吃東西或喝飲料。
(16)無塵室內(nèi)應(yīng)避免多人聚集在一起，以免制造particle。微粒
(17)劇烈運(yùn)動(dòng)或流汗后，不可立即進(jìn)入無塵室，需待呼吸平穩(wěn)且不再流汗后，方可進(jìn)入。
(18)若有抽煙，須于抽后30分鐘并且洗手漱口后，方可進(jìn)入。
(19) 面板前段不可將一般用紙、筆記本、紙箱、衛(wèi)生紙、書籍、鉛筆、修正液、橡皮擦等非 無塵用品攜入無塵室。
(20)嚴(yán)禁于無塵室內(nèi)磨、銼、鋸，砂紙、磨料….等，亦禁止使用。
(21)無塵室內(nèi)工作人員，應(yīng)保持頭發(fā)、身體之清潔，并經(jīng)常盥洗。
(22)進(jìn)入無塵室的人員禁止使用香水、口紅、發(fā)膠及其它化妝品，若有化妝者應(yīng)先卸妝后
才可進(jìn)入。
(23)原物料進(jìn)入無塵室，需先在外面拆箱并擦拭干凈后才可進(jìn)入無塵室。
(24)不可面對(duì)產(chǎn)品、Cassette或機(jī)臺(tái)之chamber交談。
(25)即使已戴手套或指套，亦須減少對(duì)產(chǎn)品做非必要之碰觸。
(26)無塵室內(nèi)文件、半成品、物品或生產(chǎn)工具，非經(jīng)部門主管允許，不可攜出。
(27)談話時(shí)不可拉下口罩交談。
(28)在無塵室內(nèi)使用電話，宜簡(jiǎn)短扼要，勿占線。
(29)無塵室內(nèi)逃生路線，不可有障礙物阻礙逃生。
(30)無塵室內(nèi)產(chǎn)品、化學(xué)品、Cassette、工具、文件、記錄簿……等，應(yīng)放置整齊。
(31)進(jìn)入Air Shower前，雙腳應(yīng)先踏腳踏粘墊，將無塵鞋底之臟污去除。
(32)Air Shower內(nèi)之正確動(dòng)作應(yīng)為雙手舉起，并緩慢旋轉(zhuǎn)身體(至少三圈)。
(33)各Air Shower均有規(guī)定人數(shù)，不可超過所規(guī)定人數(shù)，若人數(shù)過多時(shí)應(yīng)分批進(jìn)入。
(34)安全門僅供緊急狀況時(shí)使用，平時(shí)嚴(yán)禁由安全門進(jìn)出工廠。
(35)無塵衣/鞋不可穿出無塵室外，靜電鞋亦不可穿出工廠外之區(qū)域。
4.13黃光室特別注意事項(xiàng)
(1) 黃光室內(nèi)最多不得超過5人。
(2) 進(jìn)入黃光室必須吹A(chǔ)ir Shower。
(3) 使用光源時(shí)必需小心，以免影響曝光制程。
(4) 生產(chǎn)中，不能有會(huì)影響溫/濕度之干擾因子進(jìn)入。
(5) 非必要請(qǐng)勿隨意走動(dòng)或進(jìn)出頻繁。
4.14來賓(廠商)進(jìn)入無塵室注意事項(xiàng)
進(jìn)入無塵室前必須先申請(qǐng)，并取得許可，始可由相關(guān)人員陪同進(jìn)入。
(1) 來賓在無塵室內(nèi)活動(dòng)須全程有相關(guān)人員陪同。
(2) 無塵室內(nèi)不可攝影或拍照。
(3) 不可攜帶違禁品進(jìn)入無塵室。
(4) 來賓進(jìn)入無塵室須穿著來賓專用無塵衣(黃色)。
(5) 進(jìn)入A、B區(qū)須著長(zhǎng)統(tǒng)無塵鞋套，進(jìn)入C、D、E、F區(qū)則穿著不織布鞋套。
(6) 來賓或廠商進(jìn)入無塵室，未經(jīng)允許不可任意觸摸、操作機(jī)臺(tái)。
4.15無塵室安全注意事項(xiàng)
(1) 操作機(jī)臺(tái)前，必須先認(rèn)證合格取得操作資格后，才可獨(dú)立操作機(jī)臺(tái)。
(2) 特殊作業(yè)請(qǐng)確實(shí)依照操作規(guī)范之相關(guān)規(guī)定。
(3) 油、水、化學(xué)品等液體漏灑于地面(桌面)或機(jī)臺(tái)時(shí)，應(yīng)迅速清除以免發(fā)生危險(xiǎn)。
(4) 走道應(yīng)保持暢通，不可有阻礙，以免妨礙逃生信道。
(5) 無塵室內(nèi)不可存放易燃品，如系工作所需則必須有安全防護(hù)措施。
(6) 機(jī)臺(tái)或無塵室中之各項(xiàng)安全措施，不可任意關(guān)閉或by-pass，若有損壞應(yīng)迅速修復(fù)。
(7) 工作人員如發(fā)現(xiàn)任何危害安全之行為、物品、狀況等時(shí)，除立即采取必要措施外，亦
應(yīng)盡速向主管報(bào)告。
(8) 工作中應(yīng)時(shí)時(shí)注意各項(xiàng)安全警告標(biāo)語或注意標(biāo)語，并確實(shí)遵守。
(9) 急救箱、滅火器、氧氣筒及其它安全急救消防等裝備，須置于指定位置。
(10)各類清潔液、有機(jī)溶劑、化學(xué)品等之瓶蓋，于使用后應(yīng)立即蓋緊。
(11)于無塵室內(nèi)進(jìn)行施工或維修時(shí)，若有登高、動(dòng)火或其它特殊作業(yè)時(shí)，應(yīng)先向安全
主管部門取得許可并知會(huì)生產(chǎn)線。
(12)應(yīng)避免單獨(dú)1人于無塵室內(nèi)工作。
(13)各機(jī)臺(tái)儀器及其它電氣設(shè)備等，應(yīng)作好接地及絕緣措施。
(14)操作雷射等高能光源時(shí)，眼睛不可直視光源，以免發(fā)生危險(xiǎn)。
(15)應(yīng)每日檢查各項(xiàng)安全護(hù)具、裝備，并保持隨時(shí)可用之狀態(tài)。
4.16無塵室環(huán)境條件控制
(1) 面板前段
溫度控制范圍：T＝（23±1）℃
濕度控制范圍：（50±5）﹪RH
(2) 面板后段
一般環(huán)境區(qū)溫度控制范圍:T＜25℃; 濕度控制范圍:(62.5±17.5)﹪RH;
無塵室溫度控制范圍:T=(23±2)℃;濕度控制范圍:(62.5±17.5)﹪RH
(3)模組
一般環(huán)境區(qū)溫度控制范圍:T＜25℃; 濕度控制范圍:(65±15)﹪RH;
無塵室溫度控制范圍:T=(23±2)℃;濕度控制范圍:(65±15)﹪RH
5. 使用表單
來賓(廠商)進(jìn)出無塵室申請(qǐng)單
來賓(廠商)進(jìn)出無塵室記錄表
無塵室工作人員管理名冊(cè)
昆山凌達(dá)光電無塵室資格測(cè)驗(yàn)卷(A)
昆山凌達(dá)光電無塵室資格測(cè)驗(yàn)卷(B)
昆山凌達(dá)光電無塵室資格測(cè)驗(yàn)卷(C)
昆山凌達(dá)光電無塵室資格測(cè)驗(yàn)卷(D)
無塵室溫濕度監(jiān)控表
車間衣物領(lǐng)用申請(qǐng)單
6. 變更記錄
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